一、羅門哈斯超純水拋光樹脂UP6040參數(shù)：

陽樹脂H+ 陰樹脂OH-

含濕量，% 44.0-51.0 54.0-60.0

總交換容量，eq/L 32.00 31.10

均一系數(shù)￡1.20 ￡1.20

H型，%含量399 -

OH型，%含量- 395.0

Cl型，%含量- ￡0.5

CO3型，%含量- ￡5.0

SO4型，%含量- ￡0.1

二、羅門哈斯超純水拋光樹脂UP6040樹脂特性：

在不再生的終端精制應(yīng)用上，超純水的質(zhì)量是遠較樹脂的基特性來的重要，但暸解所使用的樹脂特性以

得到最佳的效能及最長使用壽命仍然是不可忽視的。AMBERJET UP6040的主要樹脂特性如下表所示 ，這些

數(shù)據(jù)顯示了組成AMBERJET UP6040的陽陰樹脂特性，而這些特性賦予AMBERJET UP6040高交換容量、均一

顆粒大小等的嚴格樹脂標準。

三、UP6040拋光樹脂應(yīng)用及特性：

在半導體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個系統(tǒng)的功能及設(shè)計主要是為了得到的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保最終的采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導體芯片前的最后一道化學精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對化學物質(zhì)呈惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會*的通過樹脂，因此精制混床樹脂是除去微量化學污染物質(zhì)的最后一道防線。除此之外，這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因為這些嚴格的條件，終端精制混床樹脂必須是最高的品質(zhì)，且同時必須是準確的被使用的。